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干涉物镜，有Michelson (2.5X and 5X) and Mirau (10X, 20X and 50X) ，适合非接触光学性能分析，200毫米镜筒远场校正设计。通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗... ...
气参数： 输入电源 AC20M50Hz 点灯频率 50KHz 预热点灯 有亮灯保护 有内部调光 可增配 （10-100%调光）内部调光 可增配（内部接点或晶体管HPN 输出）使用环绕温度 5°C-40°C 使用环绕温度 ... ...
主要性能指标 载荷能力： 1000kg 充气压力： 0.6Mpa 固有频率： 垂直方向：2～3Hz 水平方向：2～3Hz 动挠度系数: 1.1×10-3 相对位移: 0.22nm 台面平面度: 0.10mm/m2 ...
